日本 Surugaseiki 骏河精机 PMG650M-LA-C4 电动滑台

日本 Surugaseiki 骏河精机 PMG650M-LA-C4 电动滑台

主要特点

1. 超大台面 + 长行程：60×100mm 台面、50mm 行程，比 PMG615（15mm）行程大 3 倍多，适配大工件 / 光学元件安装。

2. C4 高配传感：4 传感器（含 slit 原点），回零更准、抗干扰强，适合高精度闭环定位。

3. 亚微米级精度：重复定位 ±0.5μm、直线度 2μm，满足光纤耦合、晶圆检测等高精密需求。

4. 高分辨率驱动：导程 1mm+5 相电机，微步 0.1μm，微调能力强。

5. 高负载易集成：水平负载 10kgf，面板安装、防尘盖设计，多轴堆叠稳定。

典型应用

• 光学系统：大尺寸镜头 / 模组对准、光路搭建、激光加工定位

• 半导体：晶圆检测、探针台、大芯片精密定位

• 精密检测：视觉检测平台、影像仪、大尺寸工件测量

• 电子组装：精密点胶、微小元件贴装、焊接定位